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详细信息
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。
此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。
Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;
Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;
Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;
Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用
技术参数:产品名称 RTP快速退火炉 产品型号 RTP1100 额定温度 1100℃ 温场均匀性 ±10℃ 炉膛升温速率 ≥100℃/S *快降温速率 ≥100℃/S 操控系统 智能AIO操作系统 操作界面 7英寸触摸屏 加热方式 短波红外线加热 加热腔体结构 双层石英管 外管直径 100mm 内管直径 80mm 气体保护方式 外管进气,内管出气 超温保护 温度出现过高时切断主回路 式样有效空间 70*100mm 真空系统 2L/S双级联真空系统(选配) 整机真空度 3Pa(选配2L真空泵) 抽气端口尺寸 KF16 供气口尺寸 1/4英寸双卡套 法兰冷却方式 水冷(短时间无需水冷)(可选配水冷机) 真空显示 真空压力表 额定功率 12kw 外形尺寸 950*500*560mm 重量 50kg 配件 石英管堵1支,石英舟1个、法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。