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详细信息
*** PE-CVD结构特点介绍：
1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体；
2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用进口高温合金电阻丝为加热元件；
3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件
与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性；
- 测温采用性能稳定，长寿命的“K”型热电偶，以提高控温的精准性；
- 它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
- MPECVD系列真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察；
- 炉体的控制面板配有触摸屏，控制电源开关，配有电源和保险指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
1、辉光放电：在系统低于100Pa启动射频电源可以实现辉光放电；
2、加热：系统可以设置30段温控程序，彩屏系统预存15条烧培曲线，针对不同的样品，设置不同的预
设曲线，避免重复设置；
3、自动清洗功能：样品放入线圈的区域，配置好参数（PECVD功能配置），系统会自动抽真空，并
通入设置的气体，自动启动辉光放点；
4、自动cvd功能：样品放入线圈的区域，配置好参数（PECVD功能配置），系统会自动抽真空，并通入
设置的气体，自动启动辉光放点；
5、智能能模式：实现自动清洗和cvd功能，样品不需移出，清洗cvd功能一键完成，并能实现多次的循
环操作；
6、通气时间可以设定：通过界面设置通气时间，时间到后，系统自动停止流量计，达到节能环保的目的；
7、恒定真空控制：系统设置一个真空度的数值（见参数“真空设定值”），配合手动阀和真空泵，系统
能实现真空的恒定；
8、系统微正压控制：系统设置一个正压值（见参数“真空设定值”），并配置好相应的气路，配合手动
放气阀，可以实现系统微正压的恒定；
9、系统正压保护功能：当因为误操作或者其他原因，系统压力超过保护值时（见参数“放气阀开启压力”），
系统会自动关闭进气，保护设备；
10、加热炉膛移动的速度可以调节。
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北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司
磁控溅射、热电阻蒸发、多源蒸发与手套箱一体机、有机蒸发、高低温真空探针台、ALD、PE-CVD等、真空键合机；BNC\USB\真空航插电极法兰\RJ45\光纤真空馈通法兰
PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备
页面价格仅供参考，具体请联系报价价格 价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格- 品 牌：wayes
- 所 在 地：北京
- 更新日期：2025-04-18
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