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详细信息
LightBlue_Nano系列复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵,是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了复合分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
KL系列复合分子泵采用进口陶瓷球精密轴承支撑,冷却方式为水冷或风冷,风冷泵工作环境温度必须低于35℃,转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用钻孔轴自吸油润滑,简易可靠,分子泵安装方式是垂直安装。
KL系列复合分子泵电源具备操作简单、抗干扰能力强、保护功能齐全、故障跳闸储蓄并显示,便于检查故障、可根据用户需要设置不同的运行速度、可与计算机联网等功能。
型号
KLFBF/S-300复合分子泵
KLFBF/S-600复合分子泵
KLFBF/S-1200复合分子泵
KLFBF/S-1600复合分子泵
高真空法兰(mm)
100 CF
160 ISO-K
150 CF
160 ISO-K
200 CF
200 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
前级管道法兰(mm)
25 KF
40 KF
40 KF
50 KF
抽气速(L/S)
300
600
1200
1600
压缩比
N2
>109
>109
>109
>109
H2
>8×103
>8×103
>1×104
>1×104
极限压强(Pa)帕
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
电机转数(n/min)
24000
24000
24000
24000
振动值
≤0.1μm
≤0.1μm
≤0.1μm
≤0.15μm
启动时间(min)
<4.5
<4.5
<5
<6
建议采用的前级泵
4-6 L/S
4-8 L/S
8-15 L/S
15 L/S
冷却方式
水冷(风冷)
水冷(风冷)
水冷(风冷)
水冷(风冷)
风冷泵环境温度
≤35℃
≤35℃
≤35℃
≤35℃
水冷冷却水温度
≤20℃
≤20℃
≤20℃
≤20℃
水冷冷却水流量
1-2 L/min
1-2 L/min
1-2 L/min
1-2 L/min
泵体烘烤温度
<120℃
<120℃
<120℃
<120℃
加热器功率(w)
<250
<250
<300
<350
加热器输入电压(v)
AC220
AC220
AC220
AC220
安装方向
任意角度
垂直±5°
垂直±5°
垂直±5°
泵重量(kg)
≈22
≈25
≈29
≈31
价格 (人民币)
风冷
33500
33500
40500
44500
水冷
31000
31000
38000
41000