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详细信息
主要性能参数:
■ 适用范围:1×10-6Pa~1×105Pa
■ 打开时阀板上的压差:≤1.2×105 Pa任意方向
■ 阀体和阀座漏率:≤1.3×10-7Pa·l/s
■ 建议首次维修前循环次数:200,000次
■ 阀体(打开时)烘烤温度:≤200℃
■ 安装位置:任意
■ 电源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊规格可定做)
■ 压缩空气(只适用于气动):0.4~0.7MPa
■ 阀门开启和关闭时间:≤1s
■ 阀门位置指示:带有启闭位置指示开关(磁性开关)
北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司磁控溅射、热电阻蒸发、多源蒸发与手套箱一体机、有机蒸发、高低温真空探针台、ALD、PE-CVD等、真空键合机;BNC\USB\真空航插电极法兰\RJ45\光纤真空馈通法兰 |
主要性能参数:
■ 适用范围:1×10-6Pa~1×105Pa
■ 打开时阀板上的压差:≤1.2×105 Pa任意方向
■ 阀体和阀座漏率:≤1.3×10-7Pa·l/s
■ 建议首次维修前循环次数:200,000次
■ 阀体(打开时)烘烤温度:≤200℃
■ 安装位置:任意
■ 电源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊规格可定做)
■ 压缩空气(只适用于气动):0.4~0.7MPa
■ 阀门开启和关闭时间:≤1s
■ 阀门位置指示:带有启闭位置指示开关(磁性开关)