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详细信息
我公司设计制造探针台具备以下优点:
1、真空度可到5*10-5Pa的高真空度;
2、工作台有效直径4英寸温度可达到-160℃(液氮)-600℃使用温度,低温控温精度
5度,高温控温精度1度;3、外置探针座X、Y有效位移正负25mm,Z有效位移正负15mm,分辨率5微米;
4、探针臂阻抗50欧姆,接头采用coaxial BNC公口,*小漏电率10PA,线径
30AWG,*大电压700V,陶瓷结构,耐温600度;5、探针臂伸缩结构采用焊接波纹管,上开盖结构,方便取放样品,观察窗采用真空石
英窗口;6、支撑桌面采用光学气垫桌架台。