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          此款小型磁控溅射镀膜机具备以下几个优点:

    1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张,所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑
         的设计更为合适;

    2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶(可选择高磁靶可镀铁、镍
         等磁性靶);

    3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台;

    4、配置离子活化装置;

    5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗;

    6、配置腔室烘烤加热装置;

    7、配置高真空获得及测量装置;

    8、配置膜厚实时监控测量装置。

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