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详细信息
1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台一套,配有大挡板和16套小挡板,手动
控制,开关方便快捷,每个小挡板挡两块30*30mm样片- 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温
- 金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源,通过铜电极
材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交
叉污染- 有机蒸发源配10台一带一温控电源,有机源温度为室温-500度,
- 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板一次,可同时装
并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位,使机械手
推拉小挡板,样品与蒸发源之间的间距为200-300mm -
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