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    EV-246小型电阻蒸发镀膜机
    真空腔室:1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,上开盖和前开门结构;
    真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);
    极限真空:优于8✕10-5Pa(设备空载抽真空24h);
    真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;
    基片台:可拆卸式,尺寸60✕60mm,旋转0~20r/min可调,可加热至300℃(可选水冷功能);
    蒸发源及电源:水冷铜电极3组,逆变式蒸发电源,功率2KW,配源间防污隔板;
    膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
    控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空;
    整机尺寸:L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架,预留1个CF35法兰接口。
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