-
详细信息
真空校准设备方案说明
1、便携式真空计校准装置结构设计及说明
便携式真空计校准装置校准原理为比较法，真空计比较法校准是一种成熟的校准方法，比较法又可分为静态比较法和动态比较法两种，
静态比较法原理：V4、V3阀门关闭，当校准室达到要求的真空度时，将V2阀门关闭，开启微调阀V4，调整校准室真空度到达校准点后关闭微调阀V4，完成真空校准点的校准，继续开启微调阀V4，调整校准室真空度到达下一个校准点后关闭微调阀V4，依次顺序完成真空计的校准。
动态比较法校准原理：V4、V3阀门关闭，当校准室达到要求的真空度时， V1、V2阀门保持开启，开启微调阀V4，使校准室内真空度达到动态平衡，通过调整微调阀V4的开启程度，使校准室内真空度达到不同的真空度，从而完成真空计的校准。
结合真空计校准原理，对便携式真空计校准装置进行了结构设计
所选用的元器件信息如表1所示。
表1 便携式真空计校准装置主要元器件
注：分子泵与手动角阀之间的转接法兰未标示出序号 名称 品牌型号 1 分子泵 中科科仪FF-100/150，接口100CF 2 机械泵 中科科仪TRP-12，接口25KF 3 真空校准室 / 4、5、6 电容薄膜真空计 INFICON CDG045D，接口VCR 7 复合真空计 玉川CPG800，接口CF35 8 漏率微调阀 大连齐维 接口35CF 9 手动角阀 维意真空 接口35CF 10 手动插板阀 接口CF63 11、12 电磁阀 西玛特GDC-J16KF 13 压差式充气阀 西玛特 GYC-JQ16KF 14 真空控制器 INFICON VGC503 15 分子泵控制器 中科科仪TCP-100 16 四通*2 / 17 架台（带轮） /
2、外协加工项目及要求
此次外协需要加工一个真空校准室、两个四通和机箱。
真空校准室要求：整套装置达到的极限真空度为：1×10-6Pa，加工后需要进行除气，同时漏率需满足1*10-11P m3/s（漏率指标需要校准机构进行测试）。按照设计，顶部和底部加工CF35接口，在赤道处加工5个接口，其中四个为CF35，（3个直角形式）一个为16KF。校准室直径暂定为250mm，能够承受2个大气压。校准室与机箱上表面需要螺纹固定安装。
四通1要求：一端为CF35接口，另外三个接口为VCR接口，用于安装VCR接口的电容薄膜真空规，并在真空规下面安装有截止阀。（要求体积和长度尽可能小）
四通2要求：一端为CF35接口与手动角阀连接，另外三个接口其中两个为16KF接口，另一个为25KF接口。（要求体积和长度尽可能小）
注：当四通的结构设计完毕后，对四通的内部空间体积进行计算，若真空校准室的体积与四通的体积比不满足20：1时，需要增大校准室直径。
机箱的要求：1、机箱侧面有把手，底部带有刹车轮，便于整体抬动和移动；2、真空控制器和分子泵控制器面板安装在正面，便于操作者观察；3、分子泵安装需要进行加固；4、机械泵安装有隔振设计；5、校准室保护箱体易于拆卸。6、有电气设计，包括机械泵、分子泵控制器、真空控制器、电磁阀，充气阀的供电设计。整套装置有总开关，电磁阀有开关，机箱正面画校准原理图，将电磁阀开关安装在原理图相应位置处。
使用的所有元器件*好使用国产品牌，设计时应尽量降低重量指标。
-
您可能感兴趣
-
北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司
磁控溅射、热电阻蒸发、多源蒸发与手套箱一体机、有机蒸发、高低温真空探针台、ALD、PE-CVD等、真空键合机；BNC\USB\真空航插电极法兰\RJ45\光纤真空馈通法兰
维意真空真空校准设备支持定制
页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 台
￥280000.00
- 产品型号：W-XZ350
- 品 牌：WAYES-VAC
- 所 在 地：北京
- 更新日期：2025-04-18
选择 1台起售 ￥280000.00 库存充足 -+合计：1台总价：280000.00元北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司 地址： 北京市大兴区旧桥路25号院东亚五环国际8号楼502室内容声明：谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者，谷瀑（含网站、客户端等）所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布，其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实，如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的，请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认；谷瀑上存在海量店铺，如您发现店铺内有任何违法/侵权信息，请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。
