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详细信息
可以用于10-3Pa的真空度,同时满足泄漏率要求。
工作光谱范围:200-2500nm。有不同单模光纤(3.2/125,4/125,5/125,5.9/125,9/125…)、
多模光纤(50/125,62.5/125,105/125,200/220,400/440,570/600,...)可以选择。
接口形式SMA905,FC/PC。
可按用户要求定制。
北京维意真空技术应用有限责任公司的光纤过真空装置是用来连接真空室内的光纤的,如等离子体的监控。真空通管包括一个带Viton型密封圈的M12螺丝和2个SMA光纤接头,可以方便的和光纤探头连接(需要额外订购两个SMA905光纤适配器)。由多种型号的真空通管与所有芯经的光纤匹配,从50um到1000um,而且分别有UV200~1100nm和IR400~2500nm波长型号。
真空通管概述
维意真空提供的光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室,以进行超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的*终检测。
在隔空箱中和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达*大10 -7² mbar ,操作温度高达300 °C,真空室壁厚5-40 mm,玻璃或金属封口光纤使性能表现提高,光纤过真空装置使用牢固的金属-玻璃封口胶,在超高真空应用场合的表现得到提高。
光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药物学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面,可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。
光纤过真空装置的高压与低压面的终端可与SMA905连接器相连接,可以简单地与光纤、光源、配件共同使用,以及光谱仪等光学设备。
光纤过真空装置可以旋入真空样品室上的一个M12外螺纹的孔,或可以用预备好的螺帽和垫圈旋入一个光滑的孔。装配过程非常简单,只需通过一个SMA905光纤适配器把光纤和光纤过真空通管连接起来即可。在样品室的低压面,我们建议用户选配金属硬壳的石英光纤配套。
光纤过真空装置的光纤直径有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可选;波长可选UV200~1100nm和IR400~2500nm,可选配SMA905或者FC接头。 -
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